別名：R116 / 全氟乙烷
分子式：C2F6
外觀與性狀：無(wú)色、無(wú)氣味、非易燃的氣體，在24.3℃以上時(shí)不能保持液態(tài)，通常裝在耐高壓鋼瓶?jī)?nèi)
分子量：138.0
沸點(diǎn)：-78℃
熔點(diǎn)：-101℃
溶解性：微溶于水
密度：相對(duì)密度（水=1）1.61；相對(duì)密度（空氣=1）4.7
穩(wěn)定性：穩(wěn)定
危險(xiǎn)標(biāo)記：5（不燃?xì)怏w）
主要用途：用作絕緣氣、等離子蝕刻劑，高介電強(qiáng)度冷卻劑，六氟乙烷應(yīng)用于刻蝕氣體等離子刻蝕
應(yīng)用行業(yè)
電子工業(yè)：六氟乙烷作為等離子蝕刻工作氣體在發(fā)展微電子工業(yè)方面起著重要作用，是加工超大規(guī)模集成塊工藝中所必需的介質(zhì)；制冷空調(diào)業(yè)：六氟乙烷右用做制冷和空調(diào)的冷媒。六氟乙烷還可與HFC-23組成不損害臭氧層的共沸劑R-508B,R-508B用做多級(jí)壓縮循環(huán)中在低溫段替代CF-13和R-503的替代物；
化學(xué)工業(yè)：六氟乙烷可用做化學(xué)反應(yīng)中的添氟劑；
電力工業(yè)：六氟乙烷可用做電氣設(shè)備的絕緣劑和高介電強(qiáng)度冷卻劑；
其它：六氟乙烷可用于器件表面清洗，還可用于光纖生產(chǎn)。
應(yīng)急處理處置方法
1. 泄漏應(yīng)急處理
戴自給式呼吸器，穿工作服。切斷氣源。抽排(室內(nèi))或強(qiáng)力通風(fēng)(室外)。漏氣容器不能再用，且要經(jīng)過(guò)技術(shù)處理以清除可能剩下的氣體。
2. 防護(hù)措施
呼吸系統(tǒng)防護(hù)：空氣中濃度較高時(shí)，應(yīng)該佩戴防毒面具。緊急事態(tài)搶救或撤離時(shí)，建議佩戴自給式呼吸器。
眼睛防護(hù)：一般不需要特殊防護(hù)。
身體防護(hù)：穿工作服。
手防護(hù)：一般不需要特殊防護(hù)。
其它：避免高濃度吸入。
3. 急救措施
吸入：脫離現(xiàn)場(chǎng)至空氣新鮮處。呼吸困難給輸氧。呼吸停止時(shí)，立即進(jìn)行人工呼吸、就醫(yī)。
滅火方法：切斷氣源。噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場(chǎng)移至空曠處。
